# 浸潤式微影  

工研院開設第4屆「科技產業CTO研發高階主管研習班」，號召科技業頂尖技術專家領軍，傳授勝任技術長（CTO）的秘訣，包括改寫半導體發展史的「浸潤式微影之父」清大半導體研究學院院長林本堅、台達電子機電事業群技術長連監棠、前仁寶電腦資深副總龔紹祖、前研華技術長楊瑞祥、微軟台灣人工智慧研發中心技術長陳佩君、臺大領導學程教授暨前台積電研發處處長楊光磊，及工研院跨領域專家群，培養產業最需要的技術商業化能力。

第二章說明過「耐久財訂單」。耐久財指的是耐用年限超過三年，很少需要更換的商品，例如製造業製造產品時需要用到的機械等。

荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾與台積電建立緊密的合作關係，如今在地緣政治壓力下，兩大巨頭處境極為類似。人才是創新的關鍵，由於許多國家追求自給自足一條龍模式，面臨嚴重的人才荒，假設三大主要國家朝向一條龍情況下，人才短缺規模將增為15倍，各國若要自行籌備半導體人才，幾乎是不可能的任務。

台積電前研發副總林本堅與工研院前院長史欽泰，27日在《ProjectSyndicate》共同撰文〈美國的晶片法如何傷害台灣〉（HowAmerica′sCHIPSActHurtsTaiwan），深入剖析美國總統拜登在2022年8月9日簽署的《晶片法》（CHIPSAct）為何不但無法扶植美國的半導體產業，反倒讓台積電領先全球的實力遭到削弱，甚至讓全球的半導體產業都更加脆弱。林本堅與史欽泰認為，台灣與美國都將承受立法時未能預料的後果。

日本政府祭出晶片製造設備的出口管制令，劍指中國。有中國半導體業者擔心管制範圍廣泛，「比美國去年的制裁更令人憂慮」。中美科技角力之下，日本也正磨刀霍霍，伺機成為半導體產業布局要地。

雖然面臨華盛頓施壓，但荷蘭貿易部長LiesjeSchreinemacher堅稱，不會草率地同意對出口至中國的晶片製造科技設下禁令。

護國神山台積電前進美國設廠，「去台化」、「掏空台灣」議題引發熱議。半導體業者認為，台灣人才素質高又勤勞、台積電的磁吸效應及上下游產業鏈完整，都是數十年來累積的成果，其他國家無法複製。

8月9日，美國總統拜登正式簽署晶片法案。回溯上月27日，美國參議院以64票贊成、33票反對通過晶片法案，隔天，此法又在美國眾議院以243票贊成、187票反對通過，依照條文內容，該法將補助符合資格、在美國設廠的半導體業者，包括晶圓廠、製程設備廠及原料等上游產業在內，補助總金額預計達527億美元；另外，晶片法案預計還將提撥240億美元，讓半導體業者申請可退稅25%的投資抵減，希望藉此擴大在美國設廠生產半導體的吸引力。

中國半導體領頭羊中芯國際（SMIC）製造出7奈米晶片，消息引發關注。但在製程競賽上，台積電需要在乎這件事嗎？

僑務委員會與華視新聞團隊攜手製作《踏出地平線僑見全世界》，第三集節目深入採訪五名僑界菁英，呈現他們如何貢獻所長深根台灣的故事。首先，有「浸潤式微影之父」稱號的林本堅，他是一名越南僑生，1959年因台灣推行的僑生政策來台就學，深受台灣自由開放的教育風氣薰陶。2000年時受台積電邀請來台工作，當時業界盛行「乾式曝光」技術，卻遇到瓶頸，林本堅提出「浸潤式微影技術」，成功讓全球半導體製程得以往下推進7個世代。林本堅受訪時表示感謝台灣教育，並選擇接下清華大學半導體研究學院院長，為台灣培育更多人才。深受台灣教育影響的，還有恆春基督教醫院院長黃健榮。黃健榮是一名香港僑生，自台北大學醫學系畢業後，放棄北部醫院的高薪待遇，選擇前往偏鄉守護恆春的醫療和社會服務。他不只為偏遠地區的獨居老人看病送餐，甚至為部落的學童籌組課後輔導班。黃健榮傾力守護台灣尾，去年更榮獲僑委會頒發全球傑出僑生校友獎，感謝他對國境之南的無私付出。第27屆世界台灣商會聯合總會總會長梁輝騰，1989年到墨西哥發展事業，憑著過人的膽識和海派的個性，在當地打下根基創立「梁氏集團」。梁輝騰在當地極有影響力，當時台灣和中南美洲沒有邦交，他多次協助政府和當地官員搭起溝通橋梁，積極投身僑務工作。經商成功的梁輝騰，每當台灣碰上重大災難事件，總是先站出來出錢出力。2021年太魯閣出軌事件，他第一時間發起全球六大洲臺商總會募款，共募得新臺幣2,585萬餘元，為罹難者家屬減去負擔。出錢出力不遺餘力的，還有第26屆世界台灣商會聯合總會總會長林見松，目前也是總統府國策顧問。來自雲林偏鄉、在澳洲經商的林見松，去年因「中國鳳梨禁令事件」，導致台灣農民虧損，他號召澳洲台商購買，成功讓2噸鳳梨成功出口澳洲。不僅如此，林見松協助推動「境外資金匯回管理運用及課稅條例」，此外也仿效歐美外國商會，每年編撰越南、泰國、印尼「台商經貿投資白皮書」，並將白皮書遞交給當地政府，增加台灣在當地的政經地位。台裔百老匯巨星楊呈偉，他屢屢獲邀參與大型音樂劇的表演，同時也深受主流媒體如《時代雜誌》、《紐約時報》藝評家的高度讚賞。楊呈偉不只會唱會演也會導演和編劇，他有許多創作，都是講述移民美國的台灣家庭故事。去年，楊呈偉以外國人外國專業人才延攬及僱用法，順利領取就業金卡，未來將在台灣發展，為台灣歌劇注入新的力量。

1998年9月23日星期三下午4點，張忠謀出現在交通大學電子資訊大樓國際會議廳，開始他第一堂的管理課程—「經營管理專題」。

半導體產業成為地緣政治、兵家必爭下台灣的護國神山。清大校長賀陳弘說，「山不在高，有仙則靈」，半導體是護國神山，「山不僅要高，有仙更靈！」2021年在清大半導體學院揭牌典禮上，總統蔡英文公開認證，「每所半導體學院都有祕密武器，我看清華大學的祕密武器就是林本堅院長。」事實上，林本堅不只是清大的祕密武器，更曾是台積電在先進製程上超越英特爾、三星等對手的祕密武器。林本堅的出山震撼業界，這位產官學界為解決半導體人才難題，聯手請來坐鎮清大半導體學院的「老神仙」，被賦予打造台灣半導體「未來祕密武器」的寄望。

台積電創辦人張忠謀在2019年即指出，「台積電將成為地緣政治的兵家必爭之地。」在美中貿易戰與疫情蔓延下，台灣半導體業產值增加1兆3500億元；《紐約時報》以「世界最重要地方」形容台灣。半導體看似一片榮景，背後卻隱藏巨大危機，這甚至讓台積電2大巨頭張忠謀與董事長劉德音，親自向總統蔡英文示警。半導體產業若動盪形同國安危機，據了解，蔡英文為此親自下令有「內閣最強歐吉桑」之稱的行政院副院長沈榮津出馬，要沈榮津不計一切代價解決護國神山的難題。

我們想讓你知道：半導體是跨領域的科學，特別是領導人才必須對不同領域的知識都能有深刻的認識，因此成立半導體學院有其必要性。台灣四所大學成立半導體學院，跨領域、國際化、結合國外人才與產業專家是重點，政府未來應該集中資源以半導體產業為主軸讓台灣進入國際視野，同時建議年輕學子投入這場半導體科技盛會不要錯過機會。

清華大學半導體研究學院今（27）天舉行揭牌典禮。由總統蔡英文、教育部長潘文忠及力積電董事長黃崇仁等11家合作企業代表共同揭牌。清大校長賀陳弘表示，半導體產業是台灣的護國神山，神山上要有人才，人加山為仙，方能有仙則靈，清大半導體學院的成立，揭示了世界經濟與產業發展新的里程碑。

潘文淵文教基金會為表揚長期對我國科技產業之開拓或推展具有卓越貢獻之終身成就人士，設立具有台灣科技界諾貝爾獎美名的「潘文淵獎」，今(21)日假香格里拉台北遠東國際飯店舉行「第15屆潘文淵獎頒獎典禮」，由基金會董事長史欽泰主持。本屆得獎人為致力於半導體產業近五十載並於近年投身培養半導體產業的後進菁英—清華大學特聘研究講座教授暨半導體研究學院林本堅院長，以及全球最大工業電腦領導廠商並引領集團迎向物聯網的新時代—研華股份有限公司劉克振董事長。潘文淵獎之得獎者對於我國科技產業具有舉足輕重的影響力與貢獻。今年得獎者有兩位，其中將人生大半輩子投入於半導體產業的台積電前研發副總經理也是清華大學半導體學院的林本堅院長，利用研發出的「浸潤式微影」技術，打破了全球半導體大廠數年無法突破的瓶頸，震驚半導體業界，也成了他人生的代表作。對於社會與國家有著抱負的他，卸下業界重擔後轉任清華大學特聘研究講座教授，更在今年擔任半導體學院院長一職，期盼培育更多產業菁英，為我國的半導體產業盡一份心力。同樣也致力於我國科技的發展與進步，並且對於科技創新應用有著獨到眼光，帶領研華公司成為全球最大之工業電腦領導品牌的劉克振董事長，看準全球物聯網的趨勢後促使集團進行數位轉型，並指出「人家都開在汽車，我們不能還在拉馬車」，研華未來將推出更多可創造價值的客製化服務，透過不斷的創新發展與應用，將研華推向全球領先者的目標前進，預計率先於日本與韓國執行全球創新策略，展開全球佈局與創新策略的新藍圖。頒獎典禮中安排「專題講座」與「高峰論壇」，由本屆得獎人之一的林本堅院長專題分享「光學顯微把半導體電路縮小百萬倍」，探討如何跳脫純光學思維，以半導體的角度實現。接續為「高峰論壇」，由本屆另一位得獎人劉克振董事長與天下雜誌共同執行長暨內容長吳琬瑜以「數位轉型及AIoT大潮流」為題進行對談，以創新智慧科技與全球物聯網的角度，剖析台灣產業於國際數位轉型趨勢下的走向與突破點。典禮中除頒發「潘文淵獎｣獎座外，還特別將新銳藝術家洪慈君小姐專為此獎項所創作的藝術品「希望之光」頒贈給得獎者。該藝術品是以琺瑯、鋁合金、不鏽鋼與電路斷電安全裝置等材質打造而成的同心圓造形作品，代表著共同一心、共同目標的理念，同時也象徵繼承潘文淵先生的精神，有星月交輝、團結展現亮碩成果的祝福藏於其中。潘文淵文教基金會羅達賢執行長表示，今年是該基金會成立第25年，過去曾獲得基金會頒獎肯定的優秀學子、研究學者及年輕新創企業家與教授們等總人數已超過千人。

國立清華大學與台積電、力積電等10家國內外高科技業合作的半導體研究學院計畫案，昨（20）日獲由行政院跨部會審議通過，預計今年8月成立，分為元件、設計、製程、材料4組招生。校長賀陳弘表示，清華半導體學院的特色在於請來以浸潤式微影技術改寫全球半導體發展史的中研院院士林本堅領軍，並結合清華的跨領域科技優勢，將培育未來半導體領袖人才。

光學微影與檢測技術，是摩爾定律能夠延續、晶片的密集度與運算效能得以保障的關鍵技術之一。2001年前後，隨著半導體工藝的演進，微影技術遇到了瓶頸，直到台積電前研發副總經理林本堅解決了這一難題。

台積電老將蔣尚義日前加入中國半導體廠中芯擔任獨董，引發市場震撼。媒體報導，蔣尚義事前已向台積電董事長張忠謀徵求同意，並承諾不會挖角台積電現有員工，也不會建議中芯做對台積電不利的事情。

中國晶圓代工大廠中芯今（21）日宣布，台積電前共同執行長蔣尚義將任該公司獨立非執行董事，昨起生效，該訊息傳出後震撼業界。